プロセス資材

ドライフィルム

デュポン社製

リストンFXR

特徴:フィルムのカス(スカム・スラッジ)が出ない

スラッジが出ず現像槽が汚れないため、槽の洗浄が不要です。また、フィルムカスがパターンを傷つける心配もなく歩留まり向上にもつながります。

 ■スラッジフリーテクノロジー(米国デュポン社国際特許)

■消泡剤フリーテクノロジー       ■追従性・テント強度の向上                 ■剥離時間の短縮

■幅広い露光管理領域

 

リストンLDI2000/9300シリーズ

  LDI 20XX(355nm対応)
  LDI 93XX(355/405nm対応)

■直描システムに適した高い感度と生産性

■ファインラインを追及した高解像度・密着性

■スラッジフリー・優れたテント強度・追従性で歩留まりアップ”

■露光後短時間で明瞭な発色性

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