プロセス資材

表面処理剤 
PAMプロセス・パームレスシリーズ
【粗化剤】

【ノン過水ソフトエッチング剤】

●パームレス HG
DFR、PSR等のレジストの密着性向上、及びフラックス塗付工程の表面活性前処理、物理研磨後の表面改質(均一性と一次防錆)、及び酸化膜除去・一次防錆効果、銅素地に対し低エッチング量で均一微細な凹凸面を形成できます。

使用濃度 液温 処理時間
原液~25v% RT~40° Sp:5秒~適時
(推奨 33v%) (推奨 30°) (推奨 Sp:10秒)

※RT=室温  Sp=スプレー処理
※濃度欄記載数値は水希釈の薬品割合を示します。

<HG処理後のCu表面SEM画像例>

エッチング量管理の場合:0.3μmを推奨 
濃度管理の場合:有効成分50%以上を推奨

  荷姿 入目
パームレス HG ロンテナ 20㎏
パームレス HGA ロンテナ 20㎏

 

●パームレス HSシリーズ
パームレスHSシリーズは、硫酸一過酸化水素をベース液とする酸性液(エッチング液)に添加する専用薬剤であり、密着特性及び1液型希釈タイプと添加タイプ及び添加用のベース剤を取り揃えております。

パームレスHSシリーズ 比較項目 他社汎用品
2次酸洗が不要 ライン構成 2次酸洗(増設)が必要な場合がある
分解率が低い 過水安定性 分解率が高い
バラツキが少ない 表面均一性 バラツキが生じ易い
ダブル効果で追従性を向上 DFR密着性 アンカー効果に左右される
銅濃度の影響を受け難い 溶解許容量 銅濃度の影響を受け易い
既存溶液で調整・復帰可能 補正液 別途建浴(スタート)液が必要
削減が容易 使用量 削減が困難
比較的検討し易い 排水性 特殊な処理が必要
条件設定が任意で制約を受け難い 工程対応性 構築の時間・手間や制約を受け易い
メリットが出し易い コスト メリットが出し難い

銅メッキ板(ブランク) → HS-1000処理後(0.4μ)

  荷姿 入目    
パームレス HS-100 ロンテナ 20㎏ 硫酸過水系 1液型希釈タイプソフトエッチング剤 医薬用外劇物
パームレス HS-300 ロンテナ 20㎏ 硫酸過水系 1液型希釈タイプソフトエッチング剤 医薬用外劇物
パームレス HS-150 ロンテナ 20㎏ 硫酸過水系 添加タイプソフトエッチング剤  
パームレス HS-350 ロンテナ 20㎏ 硫酸過水系 添加タイプソフトエッチング剤  
パームレス HSベース剤A ロンテナ 20㎏ HS-150用ベース剤 医薬用外劇物
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