| 仕様 |
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| ・ウルトラショートパルスレーザー光源 |
| ・光学５軸プレセッションヘッド |
| ・高精密位置決めX-Yテーブル |
| ・交換可能クランピング機構 |
| ・進化した高度なコントロールシステム |
| ・ポジショニングカメラ |
| ・高精度オートフォーカスシステム |
| ・温度制御システム |
| ・ダスト集塵 |
・安定した穴品質
・高い位置決め精度±2μm
・圧倒的な高い生産性
・オールマイティな加工能力
（ドリリング、マーキング、カッティング）
・広範囲の材料に対応
（ハードセラミック、ポリマー等）
・コールドアブレーション加工（低熱影響）
・丸穴、四角穴など他の形状も可能
・穴テーパーコントロール
・最小径：20μm以下（狭ピッチで）
・最小壁厚：10μm以下
